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半導體晶圓檢查系統，半導體晶圓搬運機，國產半導體晶圓搬送機

SOPTOP全新半導體工業檢測產品——AWL系列晶圓檢查系統，兼具穩定性和安全性，能夠安全可靠的傳送晶圓，適合于前道到后道工程的晶圓檢查。

一個晶圓在經過一系列復雜工序后最終變成多個IC單元，期間晶圓需要依賴晶圓搬運機在處理站之間執行快速、精確的傳送作業。納米級厚度的晶圓很容易在傳送過程中損壞，而且還須確保在工序中晶圓表面不得有臟污、缺陷等。

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產品詳情

SOPTOP全新半導體工業檢測產品——AWL系列晶圓檢查系統，兼具穩定性和安全性，能夠安全可靠的傳送晶圓，適合于前道到后道工程的晶圓檢查。

AWL晶圓檢查系統宣傳視頻（點擊播放）

SOPTOP推出了AWL系列晶圓檢查系統（晶圓搬送機），擁有 AWL046、AWL068、AWL812三種機型，多類配置分別可適用于 4/6 英寸，6/8英寸、8/12英寸的晶圓檢測，適應范圍廣、搭配靈活。

AWL系列可自由設置的檢查模式，充分符合人機工程學設計，操作舒適、簡便，又可稱作半導體晶圓自動搬送機。

360°宏觀檢查
AWL系列具有宏觀檢查手臂，可以實現晶面宏觀檢查、晶背宏觀檢查 1 的 360°旋轉，更為容易發現傷痕和微塵。通過操作桿可隨意將晶圓傾斜觀察。晶面最大傾斜角度70°，晶背 1 最大傾斜角度 90°，晶背 2最大傾斜角度 160°，利用旋轉功能、傾斜角度，完全可以目視檢查整個晶圓正反面及邊緣。

人機工程學設計
LCD 顯示屏，可為操作者提供更直觀的視覺體驗，可清晰的顯示當前檢查項目及次序，調試參數一目了然。手動快速釋放真空載物臺可提高操作者的舒適度和工作效率，充分體現了國產晶圓搬送機的人機工程學設計理念。

精密微觀檢查
采用專業半復消色差金相物鏡，可滿足明場、暗場、DIC、偏光等多種觀察方式。全新電動控制系統，可排查 μm 級異常，諸如孔未開出，短路，斷路，沾污，氣泡，殘留等。

應用領域

型號	AWL046	AWL068	AWL812
晶圓尺寸	100mm / 150mm	150mm / 200mm	200mm / 300mm
晶圓最小厚度	150um	150um / 180um	180um / 250um
晶舟類型	Open Cassette		Open Cassette / FOUP、FOSB
檢查模式設置	全檢 / 奇數檢 / 偶數檢 / 手動選擇
晶舟掃描（有 / 無 / 斜片）	●	●	●
晶舟內凸片偵測報警	≥4mm		≥5mm
晶圓預定位（平邊、Notch）	●	●	●
朝向設置（平邊、Notch）	非接觸式定位平邊、Notch，支持0°、90°、180°、270°朝向設置
檢查功能	晶面宏檢（旋轉）、晶背宏檢1（外圈、旋轉）、晶背宏檢2（中心）		晶面宏檢（旋轉）、晶背宏檢1（外圈）、晶背宏檢2（中心）
外觀尺寸（WDH）	14507001600mm	15507001600mm	240014002450mm
電源需求	1P / 220V / 10A		1P / 220V / 16A
真空需求（負壓 / 正壓）	-70KPA ～ -80KPA		-70KPA ～ -80KPA / 0.5MPA
適用顯微鏡	SOPTOP MX68R金相顯微鏡
光學系統	無限遠色差校正光學系統，放大倍率50X-1000X
觀察方式	明場、暗場、偏光、DIC
目鏡	高眼點大視野平場目鏡PL10X22mm，可帶視度可調，可帶測微尺		高眼點大視野平場目鏡PL10X25mm，可帶視度可調，可帶測微尺
觀察頭	鉸鏈三目觀察筒，5-35度傾角可調，正像，瞳距調節范圍：50-76mm，兩檔式分光比，雙目：三目=100：0，0：100		鉸鏈三目觀察筒，0-35度傾角可調，正像，瞳距調節范圍：50-76mm，兩檔式分光比，雙目：三目=100：0，0：100
物鏡	長工作距平場明暗場半復消色差金相物鏡 5X / 10X / 20X / 50X / 100X
轉換器	明暗場6孔電動轉換器（帶DIC插槽）
機架	反射式機架，前置低手位粗微同軸調焦機構，粗調行程35mm，微調精度0.001mm，帶有防止下滑的松緊調節裝置和隨機上限位裝置，內置100-240V寬電壓系統		明暗場反射照明器，帶視場光闌，可變電動孔徑光闌，帶明暗場切換裝置，帶濾色片插槽與偏光裝置插槽，帶12V10W LED光源控制部件
機架	明暗場反射照明器，帶視場光闌，可變電動孔徑光闌，帶明暗場切換裝置，帶濾色片及偏光裝置插槽，帶12V10W LED燈箱
載物臺	6英寸機械移動平臺，低手位X、Y方向同軸調節，晶圓承片臺臺面φ38mm，可360°旋轉，移動行程228mm(X方向)×170mm（Y方向），觀察范圍：170mmX170mm，帶離合器手柄	8英寸機械移動平臺，低手位X、Y方向同軸調節，晶圓承片臺臺面φ60mm，可360°旋轉，移動行程280mm（X方向）×210mm（Y方向），觀察范圍：210mm×210mm，帶離合器手柄	12英寸自動平臺，X、Y、Z、φ多方向調節，晶圓承片臺臺面φ70mm，可360°旋轉，移動行程600mm（X方向）×500mm（Y方向），觀察范圍：310mm×310mm，φ方向可±5度旋轉，各軸運動速度可以高低速切換
其他	濾色片插板、起/檢偏鏡插板、DIC組件、攝像接口、調整平臺、相機、專業晶圓檢查軟件等

正置金相顯微鏡