MS系列高精度工具測量顯微鏡結(jié)合了金相顯微鏡的高倍觀察能力，和影像測量儀的 X、Y、Z 軸表面尺寸測量功能，具備明暗場、微分干涉、偏光等多種觀察功能。可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、PCB、LCD、手機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈、光通訊、基礎(chǔ)電子、模具五金、醫(yī)療器械、汽車行業(yè)、計(jì)量行業(yè)等領(lǐng)域的檢測。

采用優(yōu)異的無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)，搭配長工作距金相物鏡，配合六孔電動轉(zhuǎn)換器 ，在滿足大視野觀測、大工作距測量需求的同時(shí)，還提供了高倍率和高精度的保障。無論是測量大型部件還是精細(xì)元件，或是表面高度差異大的樣品，MS系列都能為用戶提供最佳的解決方案。

1.功能高度集成的一體式設(shè)計(jì)：

MS 既預(yù)留了臺式主機(jī)的位置，又在使用者面前放置了可收起的鍵盤。兩個(gè)方向上的手輪以及各類按鈕，均符合人體工程學(xué)，使用者無需站立，便可輕松實(shí)行操作。

2.仰角可調(diào)觀察筒：

這款觀察筒傾斜角在 5°至 35°之間可調(diào)。無論是站立或坐著，都能最大限度滿足用戶的操作需求，同時(shí)也無需擔(dān)憂用戶的身高差異。

3.大行程載物臺：

有多種行程的載物臺可供選擇 , 分別為 200mm×100mm、300mm×200mm、300 mm×300mm、400 mm×300mm。無論樣品大小，均能滿足用戶的測量需求。若用戶有特殊需求，也可按需求定制平臺。

4.精密測量功能：

采用0.1um讀數(shù)的3軸測量系統(tǒng)，Z 軸最大行程可至150mm，利用集成在機(jī)架上的高精度電動控制器控制 Z 軸。三檔不同調(diào)速可供選擇，調(diào)焦可操作性強(qiáng)，提高效率，降低疲勞。

5.獨(dú)立裂像光源輔助對焦：

獨(dú)立的裂像光源控制器，可根據(jù)樣品不同背景進(jìn)行光源亮度調(diào)節(jié)，清晰準(zhǔn)確顯示最佳焦面。有兩種裂像圖案可供選擇，并隨意切換。

6.自主研發(fā)測量軟件：

MS 配備了操作簡單，功能強(qiáng)大的測量軟件，客戶可根據(jù)需要設(shè)置測試偏好。配合電動轉(zhuǎn)換器，倍率自動識別，減少客戶手動倍率選擇錯(cuò)誤。即使對復(fù)雜的形狀，也可以進(jìn)行高精度的測量。

7.MS系列高精度工具測量顯微鏡應(yīng)用實(shí)例：

軟件功能

l 配備專業(yè)視覺影像測量軟件，帶十字線捕捉閃爍功能，可測量二維平面尺寸（角度、直徑、半徑、點(diǎn)到點(diǎn)的距離、點(diǎn)到線的距離、線到線距離、線到圓的距離、圓到圓的距離等等）；

l 圖形自動捕捉：開啟自動捕捉功能后，測量點(diǎn)、線、圓及圓弧，可自動捕捉到清晰的地方；

l 視覺拍照功能：可通過軟件抓拍實(shí)時(shí)產(chǎn)品圖片，然后保存到電腦里，并可通過軟件調(diào)出圖片進(jìn)行查看或處理；

l 標(biāo)注文字：可在實(shí)時(shí)影像中標(biāo)注文字說明；

l 公英制轉(zhuǎn)換：測量值可在公制和英制之間切換；

l X、Y清零：可用畫面十字線設(shè)置任意點(diǎn)為相對原點(diǎn)，將X、Y坐標(biāo)清零；

l 測量數(shù)據(jù)輸出：可將測量數(shù)據(jù)或圖形導(dǎo)入WORD或EXCEL做報(bào)表；

l  “瀏覽”窗口： 可觀察工件的全圖形并具有類似AutoCAD的縮放功能；

l 輔助功能：可把在軟件中繪制出的圖形進(jìn)行移動、旋轉(zhuǎn)、復(fù)制、刪除，并可作任意線段的平行線、垂直線；

l 自動兩點(diǎn)線：在單一畫面下可自動捕捉工件的邊緣，無須以人工取線，減少人眼誤差，提高測量精度；

l 自動三點(diǎn)圓：在單一畫面下可自動捕捉工件的圓半徑、直徑，并繪出圖形，無須以人工取圓，減少人眼誤差，提高測量精度；

l 自動多點(diǎn)線：自動捕捉工件邊緣，然后根據(jù)工件邊緣擬合出圖形，從而減少兩點(diǎn)取線及人眼的誤差；

l 自動多點(diǎn)圓：自動捕捉工件邊緣，然后擬合出工件的孔徑，并繪出圖形，從而減少三點(diǎn)取圓及人眼的誤差；

l 自動圓：在單一畫面下用鼠標(biāo)框中圖形，可快速自動捕捉出圓

l 設(shè)定工件坐標(biāo)：可以根據(jù)客戶本身的需要在影像中的實(shí)際工件上自行設(shè)定工件坐標(biāo)，有兩點(diǎn)確定X軸、兩點(diǎn)確定Y軸或三點(diǎn)確定坐標(biāo)系等多種設(shè)定方法；

l 具有坐標(biāo)平移、坐標(biāo)旋轉(zhuǎn)及坐標(biāo)分中等功能：

l 坐標(biāo)標(biāo)注：可標(biāo)注工件中任意點(diǎn)的坐標(biāo)值；

l Pitch標(biāo)注：可標(biāo)注任意點(diǎn)到一條直線的垂直距離，可標(biāo)注任意兩線的垂直距離；