型號

CMS-554MV

CMS-564MV

CMS-547MV

CMS-584MV

CMS-665MV

CMS-685MV

CMS-6105MV

行程(mm)

X

500

500

500

500

600

600

600

Y

500

600

700

800

600

800

1000

Z

400

400

400

400

500

500

500

儀器精度

空間精度 MPEE=(3.5+L/250)μm           單軸精度 MPEE1=（3.0+L、250)μm

分辨力：0.5um

結構形式：移動橋式

總功率：75W(不包括電腦)

外形尺寸(m)

1.0×
1.1×2.2

1.0×
1.2×2.2

1.0×
1.3×2.2

1.0×
1.4×2.2

1.14×
1.1×2.4

1.14×
1.3×2.4

1.14×
1.5×2.4

整機
重量

700kg

770kg

840kg

910kg

900kg

1040kg

1180kg

最大
承重

200kg

200kg

200kg

200kg

500kg

500kg

500kg

1.45×
1.37×2.1

1.45×
1.47×2.1

1.45×
1.57×2.1

1.45×
1.67×2.1

1.35×
1.75×2.4

1.35×
1.75×2.4

1.35
1.95×2.4

1.9×
2.5×2.4

測量精度:(3.0+L/200)μm      
光源:LED 冷光源，亮度連續可調     
視頻總倍率:20X—128X(19"顯示器，分辨率1440*900)