
FPD/LSI檢查顯微鏡
ECLIPSE L300N 反射專用型
ECLIPSE L300ND 透反射兩用型
集尼康光學技術于一身的CFI60光學系統,在亮度、對比度和可操作性能方面都達到最新的高度,適合于大直徑硅片或大型液晶板的高級檢查。

| 規格 | ||
| ECLIPSE L300N | ECLIPSE L300ND | |
| (落射照明型) | (透射/落射照明型) | |
| 主機 | 內置12V-50W鹵素燈光源;內置用于電動控制器的電源 | |
| 用于物鏡轉換器的電動控制器、鹵素燈亮度控制、 | ||
| 光圈葉片控制器 | ||
| 物鏡轉換器:具備物鏡轉換器 | ||
| 對中功能的電動通用六座物鏡轉換器 | ||
| — | 反射/透射切換器 | |
| 調焦 部分 |
對焦部:行程29mm | |
| 粗調:12.7mm/轉(可扭距調節.帶重新對焦機能) | ||
| 微調:0.1mm/轉(以um為單位) | ||
| 反射 照明部 |
12V50W高亮度鹵素燈照明裝置 | |
| 孔徑光闌(電動.可調心)、視場光闌(固定.帶對焦目標) | ||
| 可插入小孔光闌滑塊(OPTION) | ||
| 可插入∮25mm濾光片(NCB、ND2、ND4)、起偏器/檢偏器 | ||
| 觀察方法:明場、暗場、簡易偏光、微分干涉、反射熒光 | ||
| (僅用于L300N/L300ND/L200ND) | ||
| 透射 照明部 |
— | 12W50W高亮度鹵素燈 照明裝置 |
| 內置孔徑光闌 | ||
| 內置LWD聚光器 | ||
| 接口 | USBx1,RS232C(用于Intensilight)x1 | |
| 鏡筒 | L2-TTA超大視場正立調傾式三目鏡筒(視角0~30°) | |
| 視場數25、光分光100:0/0:100 | ||
| L2-TT2A超大視場正立調傾式三目鏡筒(俯角0~30°) | ||
| 視場數25、光分光100:0/20:80 | ||
| LV-T13正立三目鏡筒 | ||
| 視場數25、光分光100:0/0:100 | ||
| 目鏡 | CFI目鏡 | |
| 物鏡 | CFI60系列物鏡 | |
| 載物臺 | 14x12載物臺、行程354mmx302mm | |
| (透射觀察范圍:354mmx268mm) | ||
| 帶粗/微動切換功能 | ||
| 微動手輪位置固定 | ||
| 防靜電 功能 |
從1000到10V放電時間在0.2秒以內 | |
| 耗電 | 1.2A/90W | |
| 尺寸 | 約360(W)x581(H)x951(D)mm(傾斜角度為10°時) | |